Примечание: ЦПУ--цифровым программным управлением
Ⅰ. Предназначение данного оборудования
Данный станок в основном применяется для двухсторонней обработки шлифования высокой точности кремниевой пластины, мышьяковистой пластины галлия, керамической пластины, кварцевого кристалла, фотоэлектрического стекла и других жестких хрупких материалов.
Ⅱ.Главные параметры
1. Размер шлифовального круга:φ1284× φ790 ×50мм.
2. Параметры кассеты: Z=144 DP=12 .
3. Количество кассеты: 10 шт;
4. Минимальная толщина шлифования: 0.30 мм
5. Максимальная толщина шлифования: 30 мм.
6. Скорость оборотов нижнего шлифовального круга: 0-60 rpm.
7. Приводной электродвигатель верхнего/нижнего шлифовального круга: 7.5/15kW AC380V 1460rpm.
8. Приводной электродвигатель зубчатого венца: 4 kW AC380V 1420rpm;
9. Приводной электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW AC380V 1410rpm.
10. Источник газа: 0.5-0.6 МРа;
11. Габаритный размер (Длина*Ширина*Высота): 2328мм× 1608мм × 3190мм;
12. Масса: около 7700 кг.
Ⅲ.Точность главной машины
1. Торцовое биение нижнего шлифовального круга: 0.04 мм;
2. Ровность верхнего и нижнего полированного круга: 0.015 мм;
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08 мм;
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15 мм.
Ⅳ. Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.005 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:

X61 1300B-1Computer Numerical Control Precision Lapping Machine

Application：
The machine is mainly used for lapping silicon wafers, gallium arsenide wafers, ceramic quartz crystal, optical glass and other hard and fragile flat materials on both sides with high accuracy.
Main features:
1. The machine adopts 3 servo-motors to drive. With wider speed regulation, higher run precision and quicker respond speed. It could meet the demand on lapping different materials and different lapping technics. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation. Low impact.
2. Up and down sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and match carriers’ joggling position of engagement.
3. The upper and lower lapping plate adopts across roller bearings to support, not only supporting the axletree pressure and diameter pressure, and also get over the overturn moment to make sure the static and dynamic accuracy of the lower lapping plate.
4. The upper and lower lapping plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5. It could choose two motor, three motor or four motor (original) to drive.
6. Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces. The minimal pressure that is forced is 2kgf to realize the linear exchange. The pressure specification that could control is ±2kgf；
7. Compulsory central lubrication.
8. “Floating” upper lapping plate structure.
9．Equipped with anti-stick, special waterway design to clean the plate for anti-stick, and could put cool water to make the lapping plate become cool.
10.Preprogram 20sets of technics. Every set has 20 steps. It is convenient for switching and processing of many kinds of products’ specification.
11．Combining with servomotors to drive, and make the automatic orientation of the carriers to restoration.
Main specification：
1. Dimensions of lapping /polishing plates ( outer dia.×inner dia.× thickness):
Metric system: φ1280× φ790 ×50mm (lapping); φ1313× φ757 ×50mm (polishing)
British system: φ1284× φ790 ×50mm (lapping); φ1317× φ757 ×50mm (polishing)）
2. Carrier specifications:
Metric system: Z=100 M=3
British system: Z＝144 DP12
3.Carrier quantity： 10pieces
4. Thickness of work-piece (min.): 0.30mm
5. Thickness of work-piece (max.): 30 mm
6. Rotation speed of lower lapping plate: 0～60rpm 0～60rpm
7. Driving motor of upper and lower lapping plate: 7.5/15kW AC380V 1460rpm
8. Inner-gear driving motor: 4 kW AC380V 1420rpm
9. Sun gear driving motor: 2.2kW AC380V 1410rpm
10. Air source: 0.5～0.6MPa
11. Machine dimensions (L× W× H): 2328mm× 1608mm × 3190mm
12. Machine weight： about7700Kg
Accuracy：
Machine accuracy：
1. End face run-out of lower plate: 0.04mm
2. Flatness of lapping plates： 0.015mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm
Processing accuracy（After conditioning）
1. Thickness variation of work-pieces: 0.008mm
2. Flatness of work-pieces: 0.004mm
3. Parallelism of work-pieces: 0.005mm