Ⅰ. Предназначение продукции
Данный станок в основном предназначен для односторонней полировки на кремниевые пластины диаметром менее 100 мм, также применяется для односторонней полировки других пластинчатых деталей.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Диаметр полировального круга: φ820mm.
2. Диаметр несущего круга: φ305mm.
3. Количество полировальной головки: 4 шт.
4. Диаметр цилиндра: φ80 mm.
5. Ход подъема и спуска полировальной головки: 150 мм.
6. Максимальный диаметр полированного изделия: φ300 mm.
7. Подходящий диаметр полированной кремниевой пластины: φ50-100 mm.
8. Главный электродвигатель: Y160M-4 11kW 380V 1500rpm.
9. Электродвигатель жидкого насоса: YZA7112/370W.
10. Габаритный размер: 1920mm×1125mm×1730 mm.
11. Масса оборудования: около 1900 кг.
Ⅲ. Способность обработки
Несущая способность на единицу: 20 шт/2″ 8 шт/3″ 5 шт/4″.
Несущая способность на целый круг: 80 шт/2″ 32 шт/3″ 20 шт/4″
В нижеследующем описание станка на английском языке:
X62 305-1 Single-sided Polishing Machine
Application:
The machine is mainly used for single-sided polishing of silicon wafers with diameter up to 100mm, as well as other flat materials.
Main features:
1. The machine runs stably and reliably. It is easy to operate the machine.
2. Frequency speed control, soft start and stop.
3. Water cooling for polishing plate.
4. Infrared temperature measurement and control.
5. Three steps of polishing(automatically switchover to the next step)
Step 1: slurry feeds and polishing pressure is the weight of polishing head
Step 2: slurry feeds and polishing pressure is the weight of polishing head plus the pressuring from pneumatic cylinder.
Step 3: deionized water flows and polishing pressure is the weight of polishing head.
6. Equipped with watering nozzle.
7. Key pneumatic and electric components are from world famous manufacturers
8. Wafer-holding plate is made of alumina ceramics
9. The up or down or pressuring of the four polishing heads are controlled with pneumatic valves respectively. Pneumatic cylinder is with reliable buffer.
10. Gear worm transmission
Main Specifications:
1． Polishing plate diameter: ф820mm
2． Wafer-holding plate: ф305mm
3． Polishing head quantity: 4
4． Diameter of pneumatic cylinder: ф80mm
5． Vertical of polishing heads stroke: 150mm
6． Diameter of work-pieces (max.): ф300mm
7． Preferred diameter of work-pieces: ф50-100mm
8． Main motor: Y160M-4 11kW 380V 1500rpm
Pump motor: YZA7112/370W
10. Machine dimensions (L×W×H): 1920mm×1125mm×1730mm
11. Machine weight: about 1900kg
Machine capacity:
1． One polishing head capacity: 20 pieces of 2 inch or 8 pieces of 3 inch or 5 pieces of 4 inch.
2． Total capacity: 80 pieces of 4 inch or 32 pieces of 5 inch or 20 pieces of 4 inch.