Ⅰ. Предназначение
Данный станок применяется для односторонней полировки с высокой точностью на кремниевые пластины, германиевые пластины, пластины арсенида каллии, пластины ниобаталития и другие пластинчатые материалы.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Диаметр полировального круга: φ815mm.
2. Скорость оборотов нижнего круга: 0-80rpm.
3. Ход цилиндра верхней полировальной головки: φ80mm×180 mm（4 шт головки）
4. Главный электродвигатель: 7.5kW 380V 1460rpm.
5. Требование к электропитанию:
Трёхфазная пятипроводная система, переменный ток, 3φ 380V±38V 50Hz±5Hz.
Требование к кабелю: диаметр провода более 2.5mm².
6. Требование к источнику газа:
Давление источника газа: 0.5MPa.
Расходы на воздух: 45NL/раз.
Размер соединения: быстрое соединение с внешним диаметром φ12.
7.Охлаждающая вода
Давлеие охлаждающей воды: 0.2Mpa.
Расходы на охлаждающую воду: 15L/min.
Размер соединения: быстрое соединение с внешним диаметром φ12.
8. Деионизированная вода
Давление деионизированной воды: 0.2Mpa.
Расходы на деионизации: 10L/min.
Размер соединения: быстрое соединение с внешним диаметром φ12.
9. Габаритный размер: 1080 mm ×1760 mm ×2350mm.
10. Масса оборудования: около 1800 кг.
Ⅲ. Способность обработки
Несущая способность на единицу: 5 шт (4〃) 8 шт(3〃).
Несущая способность на целый круг: 20 шт (4〃) 32 ш (3〃)