Ⅰ. Предназначение продукции
Данный станок в основе предназначен для одностороннего шлифования с высокой точностью для сапфиров 4-8″, кремниевой пластины полупроводников, пластины ниобаталития, пластины лития танталовой кислоты, стекла и других материалов.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Диаметр ведующего шлифовального круга: φ1260 mm×330mm (бескислородная медь).
2. Диаметр шлифовальной головки: φ485mm.
3. Скорость оборотов ведующего шлифовального круга: 0~63rpm.
4. Скорость оборотов шлифовальной головки: 0~63rpm.
5. Количество шлифовальной головки: 4 шт.
6. Цилиндр для подъема и спуска шлифовальной головки:
Диаметр цилиндра: φ200mm.
Ход: 250.5mm
7. Приводной электродвигатель ведующего шлифовального круга: Y180M-4 1×22Kw.
8. Приводной электродвигатель шлифовальной головки: 4×0.75Kw.
9. Габаритный размер оборудования(Д*Ш*В): 3046 mm×1840 mm×2586 mm.
10. Масса оборудования: около 7500 кг.
Ⅲ. Способность обработки
Несущая способность на единицу: 8 шт/4″ 6 шт/5″ 4 шт/6″
Несущая способность на целый круг:32 шт/4″ 24 шт/5″ 16 шт/6
В нижеследующем описание станка на английском языке:
X61 485-1 Single-sided Lapping Machine
Application and features:
This machine is mainly used for lapping sapphire, silicon wafer, germanium wafer, lithium niobate, lithium niobate, gallium arsenide, glass and other hard and fragile flat materials with diameter from 4" to 8" on single side with high accuracy.
The speed of the main lapping plate and four lapping heads is controlled by transducer. It is easy to make the four lapping heads rotate synchronously, so that the relative speed would be the same.
Several steps of pressure are used while lapping; the pressure control is closed-loop feedback control system, which ensures the high accuracy and precision. The pressure can be changed according to different materials and different lapping techniques.
The temperature could be detected by contactless temperature testing device and displayed on the screen in real time.
Equipped with PLC.
The lapping plate is equipped with circulated water cooling system, which can control the temperature accurately and improve the quality of the wafer.
Main pneumatic and electric components are from world famous manufacturers. It guarantees the running accuracy and reliability. This could satisfy the single-side lapping requirement for sapphire and other wafers completely.
Main Specifications:
Diameter of the lapping plate: φ1260 mm×330mm (oxygen-free copper)
Diameter of lapping head: φ485mm
Rotation speed of main lapping plate: 0~63rpm
Rotation speed of lapping head: 0~63rpm
Lapping head quantity: 4
Lifting cylinder of the lapping head:
Cylinder diameter: φ200mm
Stroke: 250.5mm
Motor driving the main lapping plate: Y180M-4 1×22Kw
Motor driving the main lapping head: 4×0.75Kw
Machine dimension(L×W×H): 3046 mm×1840 mm×2586 mm
Machine weight: about 7500kg
Machine capacity:
One head capacity: 8 pieces for 4 inch 6 pieces for 5 inch 4 pieces for 6 inch
Total capacity: 32 pieces for 4 inch 24 pieces for 5 inch 16 pieces for 6 inch