Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок в основном предназначен для двухстороннего полирования высокой точности на пьезоэлектрическую керамику, полупроводник химического соединения, кремниевый монокристалл, магнитный материал, стекло и оптические электрические материалы, металл и другие пластинчатые жесткие хрупкие материалы, к тому же, предназначен для двухстороннего точного полирования и точной обработки плоскопараллельных материалов размером менее 4＂（φ100мм） и других различных материалов с одинаковым размером.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Размер верхнего полировального круга: φ640мм×φ235мм×45мм;
2. Размер нижнего полировального круга: φ640мм×φ235мм×50мм.
3. Параметры кассеты: метрический, Z=114 M=2; дюймовый, Z=108 DP12.
4. Количество кассеты: 5 шт.
5. Минимальная толщина полирования: 0.4мм/φ75мм(арсенид галлии).
6. Максимальная толщина полирования: 20 мм.
7. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0~80rpm.
8. Приводной электродвигатель полировального круга: 4kW 380V 1440rpm.
9. Приводной электродвигатель солнечного колеса: 0.75kW 380V 1390rpm.
10. Приводной электродвигатель внутреннего зубчатого венца: 0.75kW 380V 1390rpm.
11. Источник газа: 0.5~0.6MPa.
12. Габаритный размер оборудования: 1910мм×1215мм×2650мм.
13. Масса оборудования: около 3300 кг.
Ⅲ. Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.04 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.015 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм.
Ⅳ.Способность обработки
1. Несущая способность на единицу: 4 шт/Ф75 мм; 3 шт/Ф100 мм.
2. Несущая способность на целый круг: 20 шт/Φ75мм, 15 шт/Ф100 мм.
В нижеследующем описание станка на английском языке:

X62 228P 3D-1 Double-sided Precision Polishing Machine
Application:
This machine is used mainly for highly-accurate polishing of hard, fragile flat materials with diameter up to 4″on both sides, such as piezoelectric ceramics, compound semiconductor, mono-crystalline silicon, magnetic substance, glass, metal and photoelectric materials. It also can polish flat materials of abnormal shape with diameter up to 4″.
Main features:
1． Introduce 4-way polishing principle. The upper and lower plates, sun-gear and inner gear are driven respectively by three motors. Equipped with PLC control and color PT display.
2． Gantry and box structure.
3． All the parts touching polishing slurry are made of anti-corrosive materials or have been specially treated for anti-corrosion.
4． Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces.
5． Compulsory central lubrication.
6． Equipped with polishing slurry stirring up system, circulated water cooling system, polishing slurry heating system and temperature measurement and control. These are optional.
Main Specifications:
1． Upper plate dimensions (outer dia.× inner dia.× thickness): ф640mm×ф235mm×45mm
2． Lower plate dimensions (outer dia.× inner dia.× thickness): ф640mm×ф235mm×50mm
3． Carrier specifications: DP12 Z=108 (British system)
M=2 Z=114 (Metric system)
4． Carrier quantity: 5
5． Thickness of work-pieces (min.): 0.40mm for ф75mm (gallium arsenide)
6． Thickness of work-pieces (max.): 20mm
7． Rotation speed of lower plate: 0 ~ 50rpm
8． Plates driving motor: 4kW 380V 1440rpm
9． Sun gear driving motor: 0.75kW 380V 1390rpm
10． Inner gear driving motor: 0.75kW 380V 1390rpm
11． Air source: 0.5 ~ 0.6 MPa
12． Machine dimensions (L×W×H): 1910mm×1215mm×2650m
13． Machine weight: about 3300kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.04mm
2. Flatness of polishing plates: 0.015mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 4 pieces of ф75mm or 3 pieces of ф100mm
2. Total capacity: 20 pieces of ф75mm or 15 pieces of ф100mm