Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок в основном предназначен для двухстороннего полирования высокой точности на пьезоэлектрический кристалл полупроводник химического соединения, кремниевый монокристалл, магнитный материал, стекло и оптические электрические материалы, металл и другие неметаллические пластинчатые жесткие хрупкие материалы, к тому же, предназначен для двухстороннего точного полирования и точной обработки плоскопараллельных материалов размером менее 4"（Φ 100мм） и других различных материалов с одинаковым размером.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Размер полировального круга: Φ850 мм×Φ272мм×45мм.
2. Параметры кассеты: метрический, Z=158 M=2; дюймовый, Z=150 DP12.
3. Количество кассеты: 5 шт.
4. Минимальная толщина полирования: 0.45мм(арсенид галлии).
5. Максимальный диаметр полирования: Φ270мм.
6. Скорость оборотов нижнего полировального круга:0—70rpm.
7. Главный электродвигатель: 7.5kW 380V 1440rpm.
8. Электродвигатель солнечного колеса: 1.5kW класс 4 380V.
9. Электродвигатель внутреннего зубчатого венца: 2.2 kW класс 4 380V.
10. Давление источника газа: 0.5—0.6Mpa.
11. Габаритный размер оборудования: 2000мм×1200мм×2770мм .
12. Масса оборудования: около 4000 кг.
Ⅲ. Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.05 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.015 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.06мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.10мм.

Ⅳ.Способность обработки
1. Несущая способность на единицу: 8 шт/Ф75 мм; 5 шт/Ф100 мм;
2. Несущая способность на целый круг: 40 шт/Φ75мм, 25 шт/Ф100 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:

X62 318P 3D-1 Double-sided Precision Polishing Machine
Application:
This machine is used mainly for accurately polishing hard, fragile flat materials with diameter up to Φ4", such as piezoelectric ceramics, compound semiconductor, monocrystalline silicon, magnetic substance, glass, opto-electronic materials, metal and non-metal materials. It also can polish abnormal flat materials with same diameter.
Main features:
1． Frequency speed control. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation and low impact.
2． Equipped with 3 motors. With wide speed regulation. The equipment can meet the demand on polishing different materials and on different polishing technics.
3． Elevating sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and fit carriers’ position of engagement.
4． The upper and lower lapping plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5． PLC control and closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces.
6． Equipped with Human-computer interface (PT) and PLC control which can display the running status of the machine and inputting running parameters through touch panel is allowed.
7． Compulsory central lubrication can prolong the service life of the machine.
8． “Floating” upper polishing plate structure.
9． Equipped with water-slurry separation device.
10． Hand-holding polishing plate cleaner.
Main specifications：
1. Dimension of polishing plates： ф850mm×ф272mm×45mm
2. Carrier specifications: Z=158 M=2 (Metric system)
Z=150 DP12 (British system)
3. Carrier quantity: 5
4. Thickness of work-piece (min.): 0.45mm（Gallium arsenide）
5. Diameter of work-piece (max.): ф270mm
6. Rotation speed of the lower plate: 0~70rpm
7. Main motor: 7.5kW 380V 1440rpm
8.Sun gear driving motor 1.5kW 4 poles 380V
9.Inner gear driving motor 2.2 kW 4 poles 380V
8. Air source: 0.5~0.6Mpa
9. Machine dimensions (L×W×H): 2000mm×1200mm×2770mm
10. Machine weight: about 4000kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of the lower polishing plate: 0.05mm
2. Flatness of the polishing plates: 0.016mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.06mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.10mm
Machine Capacity:
1. one-carrier capacity: 8 pieces of ф75mm or 5 pieces of ф100mm
2. Total capacity: 40 pieces of ф75mm or 25 pieces of ф100mm