Ⅰ. Предназначение продукции Данный станок в основном предназначен для двухстороннего полирования высокой точности на пьезоэлектрическую керамику, полупроводник химического соединения, кремниевый монокристалл, магнитный материал, стекло и оптические электрические материалы, металл и другие пластинчатые жесткие хрупкие материалы, к тому же, предназначен для двухстороннего точного полирования и точной обработки плоскопараллельных материалов размером менее 5"(Φ 125мм) и других различных материалов с одинаковым размером. Ⅱ. Главные технические параметры 1. Размер полировального круга: Φ1112мм×Φ380мм×50мм. 2. Параметры кассеты: метрический, Z=212 M=2; дюймовый, Z=200 DP12. 3. Количество кассеты: 5 шт. 4. Минимальная толщина полирования: для кремния, 0.45мм/Φ125мм. 5. Максимальная толщина полирования: 25 мм. 6. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0~60rpm. 7. Приводной электродвигатель верхнего и нижнего полировального круга: 15KW 380V 1440rpm. 8. Приводной электродвигатель солнечного колеса: 2.2KW 380V 1390rpm. 9. Приводной электродвигатель внутреннего зубчатого венца: 2.2KW 380V 1390rpm. 10. Источник газа: 0.5~0.6Mpa. 11. Габаритный размер: 2450мм×1500мм×2953мм. 12. Масса оборудования: около 4500 кг. Ⅲ. Точность главной машины 1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.06 мм 2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.02 мм. 3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08мм 4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм. Ⅴ.Способность обработки 1. Несущая способность на единицу: 17 шт/Ф75 мм; 8 шт/Ф100 мм, 5шт/Φ125мм; 2. Несущая способность на целый круг: 85 шт/Φ75мм, 40 шт/Ф100 мм; 25 шт/Ф125 мм.
В нижеследующем описание станка на английском языке:
X62 424P 3D-1 Double-sided Precision Polishing Machine Application: This machine is used mainly for accurately polishing hard, fragile flat materials with diameter up to 5″ on both sides, such as piezoelectric ceramics, compound semiconductor, monocrystalline silicon, magnetic substance, glass, opto-electronic materials and metal. It also can polish flat materials of abnormal shape with same diamter. Main features: 1. Introduce 4-way polishing principle. The upper and lower polishing plates, sun-gear and inner gear are driven respectively by three motors. Equipped with PLC control and color PT display. 2. Gantry and box structure,good rigidity. 3. All the parts touching polishing slurry are made of anti-corrosive materials or have been specially treated for anti-corrosion. 4. Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces. 5. Compulsory central lubrication. 6. Equipped with polishing slurry stirring up system, circulated water cooling system, polishing slurry heating system and temperature measurement and control system, which are optional. Main specifications: 1. Dimensions of the polishing plates (outer dia. ×inner dia.×thickness): ф1112mm×ф380mm×50mm 2. Carrier specifications: Z=212 M=2 (Metric System) Z=200 DP12 (British System) 3. Carrier quantity: 5 4. Thickness of work-pieces (min.): 0.45mm/ф125mm 5. Thickness of work-pieces (max): 25mm 6. Rotation speed of the lower polishing plate: 0 ~ 60rpm 7. Drive motor for polishing plates: 15kW 380V 1440rpm 8. Drive motor for sun gear: 2.2kW 380V 1390rpm 9. Drive motor of inner gear: 2.2kW 380V 1390rpm 10. Air source: 0.5 ~ 0.6Mpa 11. Machine dimension (L×W×H): 2450mm×1500mm×2953mm 12. Machine weight about 4500kg Machine accuracy: 1. End face run-out of the lower polishing plate: 0.06mm 2. Flatness of the polishing plates: 0.02mm 3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm 4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm Machine Capacity: 1. one-carrier capacity: 17 pieces of ф75mm or 8 pieces of ф100mm or 5 pieces of ф125mm 2. Total capacity: 85 pieces of ф75mm or 40 pieces of ф100mm or 25 pieces of ф125mm
|