Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок в основном предназначен для двухстороннего полирования высокой точности кремниевой пластины, пластины арсенида галлии, керамической пластины, кварцевого кристалла, оптического стекла и других жестких хрупких материалов.
Ⅱ. Технические параметры
1. Размер полировального круга: метрический, φ1313 мм× φ757мм ×50мм; дюймовый, φ1317мм× φ757мм ×50мм.
2. Параметры кассеты: метрический, количество зубьев Z=100 , количество модули M=3 ; дюймовый, количество зубьев Z=144 , количество модули DP12.
3. Количество кассеты: 10 шт.
4. Минимальная полировальная толщина: 0.30 мм.
5. Максимальная полировальная толщина: 30 м.
6. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0～60rpm.
7. Приводной электродвигатель верхнего и нижнего полировального круга: 7.5/15kW AC380V 1460rpm.
8. Приводной электродвигатель зубчатого венца: 4 kW AC380V 1420rpm.
9. Приводной электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW AC380V 1410rpm.
10. Источник газа: 0.5～0.6MPa.
11. Габаритный размер: 2328мм× 1608мм × 3190мм.
12. Масса оборудования: около 7700 кг.
Ⅲ. Показатели точности
(1) Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.04 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.015 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм.
(2) Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.005 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:

X61 1300B-1Computer Numerical Control Precision Polishing Machine
Application：
The machine is mainly used for polishing silicon wafers, gallium arsenide wafers, ceramic quartz crystal, optical glass and other hard and fragile flat materials on both sides with high accuracy.
Main features:
1. The machine adopts 3 servo-motors to drive. With wider speed regulation, higher run precision and quicker respond speed. It could meet the demand on polishing different materials and different polishing technics. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation. Low impact.
2. Up and down sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and match carriers’ joggling position of engagement.
3. The upper and lower polishing plate adopts across roller bearings to support, not only supporting the axletree pressure and diameter pressure, and also get over the overturn moment to make sure the static and dynamic accuracy of the lower polishing plate.
4. The upper and lower polishing plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5. It could choose two motor, three motor or four motor (original) to drive.
6. Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces. The minimal pressure that is forced is 2kgf to realize the linear exchange. The pressure specification that could control is ±2kgf；
7. Compulsory central lubrication.
8. “Floating” upper plate structure.
9．Equipped with anti-stick, special waterway design to clean the plate for anti-stick, and could put cool water to make the plate become cool.
10.Preprogram 20sets of technics. Every set has 20 steps. It is convenient for switching and processing of many kinds of products’ specification.
11．Combining with servomotors to drive, and make the automatic orientation of the carriers to restoration.
Main specification：
1. Dimensions of polishing plates ( outer dia.×inner dia.× thickness):
Metric system: φ1313× φ757 ×50mm
British system:φ1317× φ757 ×50mm
2. Carrier specifications:
Metric system: Z=100 M=3
British system: Z＝144 DP12
3.Carrier quantity： 10pieces
4. Thickness of work-piece (min.): 0.30mm
5. Thickness of work-piece (max.): 30 mm
6. Rotation speed of lower plate: 0～60rpm 0～60rpm
7. Driving motor of upper and lower plate: 7.5/15kW AC380V 1460rpm
8. Inner-gear driving motor: 4 kW AC380V 1420rpm
9. Sun gear driving motor: 2.2kW AC380V 1410rpm
10. Air source: 0.5～0.6MPa
11. Machine dimensions (L× W× H): 2328mm× 1608mm × 3190mm
12. Machine weight： about 7700Kg
Accuracy：
Machine accuracy：
1. End face run-out of lower plate: 0.04mm
2. Flatness of plates： 0.015mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm
Processing accuracy（After conditioning）
1. Thickness variation of work-pieces: 0.008mm
2. Flatness of work-pieces: 0.004mm
3. Parallelism of work-pieces: 0.005mm