Ⅰ. Предназначение оборудования Данный станок в основном предназначен для двухстороннего высокого точного полирования кремниевой пластины, стекла и жестких и хрупких материалов, размеры которых менее 8 дюймов, также предназначен для двухстороннего полирования кварцевого кристалла, пластины каменья, стекла, керамических пластины и других жестких и хрупких материалов. Ⅱ. Главные технические параметры 1. Размер полировального круга: φ1380мм×φ433мм×50мм. 2. Параметры кассеты: метрический, Z=170 M=3 α=20°. 3. Минимальная шлифовальная/полировальная толщина: 0.40 мм. 4. Максимальная шлифовальная/полировальная толщина: 30 мм. 5. Максимальный шлифовальный/полировальный диаметр: φ410мм. 6. Скорость нижнего круга: 0-60rpm. 7. Главный электродвигатель: 18.5Kw AC380V 1450rpm. 8. Электродвигатель солнечного колеса: 4.0kW AC380 1400rpm. 9. Электродвигатель подъема: 0.55kW AC380 1390rpm. 10. Трёхфазный электрический насос: 1/4HP 70L/min AC380. 11. Габаритный размер: 2700мм×2050мм×2580мм. 12. Масса оборудования: около 6800 кг. Ⅲ. Точность главной машины 1. Торцовое биение нижнего круга: ≤0.08мм. 2. Плоскостность верхнего и нижнего круга: ≤0.025мм Ⅳ. Способность обработки 1. Несущая способность на единицу: 6 шт/Ф150 мм, 8 шт/Φ125мм; 2. Несущая способность на целый круг:30 шт/Ф150 мм; 40 шт/Ф125 мм.
В нижеследующем описание станка на английском языке:
X62 1355B2M-5PW POLISHING MACHINE Application This machine is mainly used for accurately polishing silicon wafers and glass on both sides with diameter up to 8", as well as of quartz crystal wafers, precious stone, ceramics and other hard and fragile flat materials. Main features: 1. Equipped with frequency converters and asynchronous motors. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation. Low impact. 2. Equipped with 2 motors with wide speed-regulation, meeting the requirement of different materials and different polishing technics. The fast repairing function improves production efficiency. 3. Elevating sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload workpieces and matches carriers’ position of engagement. 4. The upper and lower polishing plates are driven with bevel gears, while the machine is driven with all-gear. The machine runs smoothly. 5. PLC control system, four lines text monitor displays the operating condition of the machine. Pressure is controlled by precise regulator, meeting the open-loop control model of the light-pressure, medium-pressure and heavy-pressure. The change of the pressure is stable and smooth. 6. Compulsory central lubrication.Every relative movement surface, gear meshing position and chain wheel all could be lubricated fully, and this improve the using life of the machine greatly. 7. The new “Floating” connecting device of the up plate, aligning flexibly, avoiding the cross of the plates. Main specifications: 1. Dimensions of polishing plates:φ1380mm×φ433mm×50mm 2. Dimensions of polishing plates: metric system:Z=170 M=3 α=20° 3. Thickness of work-piece (min.): 0.40mm 4. Thickness of work-piece (max.): 30mm 5. Diameter of work-piece (max.): φ410mm 6. Rotation speed of lower polishing plate: 0-60rpm 7. Main motor: 18.5Kw AC380V 1450rpm 8. Sun gear driving motor: 4.0kW AC380 1400rpm 9. Lifting motor:0.55kW AC380 1390rpm 10. Threephase pump:1/4HP 70L/min AC380 11. Machine dimensions(L×W×H):2700mm×2050mm×2580mm 12. Machine weight: about 6800Kg Machine accuracy: 1. End face run-out of lower plate: ≤0.08mm 2. Flatness of polishing plates: ≤0.025mm Machine Capacity: 1. One-carrier capacity: 6 pieces /φ150mm 8 pieces /φ125mm 2. Total capacity: 30 pieces /φ150mm 40 pieces /φ125mm
|