Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок в основном предназначен для двухстороннего точного полирования кремниевой пластины размером менее 6 дюймов, также предназначен для двухстороннего полирования кварцевого кристалла, пластины каменья, стекла, керамических пластины и других жестких и хрупких материалов.
Ⅱ. Главные технические параметры
1. Размер полировального круга: φ1380мм×φ767мм×50мм.
2. Параметры кассеты: Z=162 DP12 α=20°.
3. Количество кассеты: 9 шт.
4. Максимальный полировальный диаметр: φ300мм.
5. Минимальный полировальный диаметр: 0.50мм.
6. Максимальная полировальная толщина: 30мм.
7. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0-60rpm.
8. Главный электродвигатель: 18.5kW 380V 1450rpm.
9. Электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW 380V 1440rpm.
10. Электродвигатель внутренего зубчатого венца: 5.5kW 380V 1440rpm.
11. Источник газа: 0.5~0.6MPa.
12. Габаритный размер: 2650мм×1920мм×2770мм.
13. Масса оборудования: около 7700 кг.
Ⅲ. Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего полировального круга: 0.08 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего полировального круга: 0.02 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.10мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.18мм.
Ⅳ.Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.006 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:

X62 1355B-1 Double-sided Polishing Machine (20B)

Application:
This machine is mainly used for accurately polishing silicon wafers on both sides with diameter up to 6", as well as of quartz crystal wafers, precious stone, glass, ceramics and other hard and fragile flat materials.
Main features:
1． Equipped with frequency converters and asynchronous motors. Soft start and soft stop. Smooth speed regulation. Low impact.
2． Equipped with 3 motors. With wide speed regulation. The equipment can meet the demand on lapping different materials and different polishing techniques.
3． Elevating sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and match carriers’ position of engagement.
4． The upper and lower plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5． Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces.
6． Equipped with Human-computer interface (PT) display and PLC control. It can display the running status of the machine. Inputting running parameters through touch panel is allowed.
7． Compulsory central lubrication. Every relative movement surface, gear meshing position and chain wheel all could be lubricated fully, and this improves the using life of the machine greatly.
8． “Floating” upper lapping plate structure.
Main specifications：
1． Dimensions of plates:
Polishing plates: φ1380mm×φ767mm×50mm
2． Carrier specifications: Z=162 DP12 a=20°
3． Carrier quantity: 9
4． Diameter of work-piece (max.): φ300mm
5． Thickness of work-piece (min.): 0.50mm
6． Thickness of work-piece (max.): 30mm
7． Rotation speed of lower lapping plate: 0 ~ 60rpm
8． Main motor:
Polishing machine: 18.5kW 380V 1450rpm
9． Sun gear driving motor:
Polishing machine: 2.2kW 380V 1440rpm
10． Inner driving motor:
Polishing machine: 5.5kW 380V 1440rpm
11． Air source: 0.5 ~ 0.6MPa
12． Machine dimensions(L×W×H): 2650mm×1920mm×2770mm
13． Machine weight: about 7700kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.08mm
2. Flatness of the plates: 0.02mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.10mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.18mm
Processing accuracy (after conditioning):
1. Thickness variation of work-pieces: 0.008mm
2. Flatness of work-pieces: 0.004mm
2. Parallelism of work-pieces 0.006mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 6 pieces for ф150mm or 8 pieces for ф125mm
2. Total capacity: 30 pieces for ф150mm or 40 pieces for ф125mm