Ⅰ. Предназначение оборудования
Данное оборудование в основном применяется для обработки кремниевой пластины размером 12＂ и менее 12＂, также применяется для двухстороннего полирования кремниевого кристалла жесткого диска, керамических пластин и других жестких и хрупких материалов.
Ⅱ. Технические параметры
1. Размер полировального круга: φ1420 мм× φ430мм.
2. Параметры кассеты: количество зубьев Z＝105 расстояние зубьев P＝15.7.
3. Количество кассеты: 5 шт.
4. Скорость оборотов нижнего полировального круга: 0～70rpm
5. Скорость оборотов верхнего полировального круга: 0～60rpm.
6. Скорость оборотов крайнего зубчатого колеса: 0～26rpm.
7. Скорость оборотов солнечного колеса: 0～26rpm.
8. Точность контроля скорости: ±0.1rpm.
9. Температура большого круга: 20～45℃.
10. Точность контроля температуры большого круга: ±1℃.
11. Поток полировальной жидкости: 0-10L/min（ контрольная точность ±0.1 L/min）.
12. Ход верхнего полировального круга: 450 мм.
13. После обработки кремниевая пластина GBIR: (до полировки GBIR＜2μm, количество для удаления составляет 10-40μm) ≤0.6μm.
14. После обработки кремниевая пластина SFQR（cell size25*25）PUA95% (большой) ≤0.07μm（EE=2мм）.
15. Загрязнение металла в поверхности: ≤1.00E+10at./cm2.
16. Среднее рабочее время без неисправностей оборудования（uptime）：≥90%.
17. Среднее рабочее время без неисправностей (MTBF): ＞1200 часов.
18. Среднее время для ремонта оборудования （MTTR）: ＜4 часа.
Можно удовлетворить техническим требованиям двухстороннего полирования кремниевой пластины размером 300 мм для интегральной схемы 90-65nm.