Ⅰ. Предназначение оборудования.
Данное оборудование в основном предназначено для двухстороннего полирования с высокой точностью кремниевой пластины, пластины арсенида галлии, керамического чипа, кварцевого кристалла, оптического и электрического стекла, и других жестких хрупких материалов.
Ⅱ. Технические параметры
1. Размер полировального круга: метрический, φ1313 мм × φ757 мм ×50мм; дюймовый, φ1317мм× φ757мм ×50 мм.
2.Параметры кассеты: метрический , Z=100 M=3;дюймовый, Z＝144 DP12
3. Количество кассеты: 10 шт;
4. Минимальная толщина полировки: 0.3мм;
5. Максимальная толщина полировки: 30мм;
6. Скорость нижнего полировального круга: 0～60rpm
7. Приводной электродвигатель верхнего /нижнего полировального круга: 7.5/15kW AC380V 1460rpm;
8. Приводной электродвигатель зубчатого венца: 4 kW AC380V 1420rpm;
9. Приводной электродвигатель солнечного колеса: 2.2kW AC380V 1410rpm;
10. Давление источника газа: 0.5～0.6MPa;
11. Габаритный размер: 2328мм× 1608мм × 3190мм;
12. Масса: около 7700 кг.
Ⅲ. Показатель точности
(1). Точность главной машины
1. Торцовое биение нижнего полировального круга: 0.04 мм;
2. Ровность верхнего и нижнего полировального круга: 0.015 мм;
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08 мм;
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15 мм.
(2). Точность обработки (после корректировки )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.005 мм.