Ⅰ. Предназначение оборудования.
Данное оборудование применяется для двухсторонной точной обоработки шлифовки кремниевого чипа, оптического стекла, кварцевой пластины, керамического чипа и других полупроводинковых материалов, также пременяется для двухсторонной точной обоработки шлифовки других твёрдых хрупких материалов.
Ⅱ.Главные особенности
1.С помощью сотрудничества конвертера выского свойства и 3-фазной асинхронной машины осуществляются мягкий запуск, мягкая остановка, стабильная скорость регулирования, маленький удар;
2. Применять трёхдвигательный одновременный привод, внутреннее зубчатое кольцо и центральное колесо отдельно осуществляют привод. Центральное колесо имеет более большой предел изменения скорости (не только прямое вращение, но и обратное вращение) и удобное регулирование. В одном процессе обработки можно одновременно установить 20 параметров скорости;
3. Применять контроль PLC, человеко-компьютерный интерфейс （PT） показывает параметры операции оборудования. Давление применяет контроль замкнутого контура электрического пропорционального клапана. В одном процессе обработки можно одновременно установить 20 параметров скорости, это довольно удовлетворит требования к технологии клиентов.
4. Чтобы повышать точность оборотов, удобность сборки и ремонта полностью учесть надежность, функциональность, взаимозаменяемость и удобность к операции и ремонту.
5. Электрический пропорциональный редукционный клапан регулирует положительное давление(выходное давление плоско изменяется по мете изменения входного давления), выбрать датчик погрузочного веса для проверки силы изделия, передать сигнал контроль замкнутого контура давление, состовляющего из контрольного блока. Управление давления является точным
6. Для данного оборудования клиент может установить 6 комплектов разных технологических параметров(давление, время, скорость, скоростное соотношение, замедлительное давление, плавающее время и так далее) для регулирование работника
7. Данное оборудование имеет автоматическую функцию взвешивавния для полированного круга. С помощью этого можно установить давление полировки и можно автоматически устранять нестабильное явление давления, возникающего из-за повреждения полированного круга, чтобы обеспечить эффект полировки технологических параметров полировки(установленное давление, время, скорость и крупность полированной жидкости, концентрация, поток).
8. Главные элементы импортные, это может обеспечить требование к надёжности пользования.
Ⅲ. Основные параметры оборудования
1. Размер шлифовального круга (внешний диаметр×внутрений диаметр×толщина): Φ927мм×Φ358мм×45мм.
2. Параметры кассеты: DP=12 Z=147 α=20°
3. Максимальное количество для монтажа кассеты: 6 шт.
4. Идеальный размер шлифовального изделия:Φ125мм/3.
5. Толщина шлифовального изделия:
А. Минимальная толщина: 0.20 мм.
В. Максимальная толщина: 20 мм.
6. Скорость оборотов нижнего шлифовального круга: 0～40rpm.
7. Самая высокая скорость оборотов солнечного колеса: 20rpm
8. Самая высокая скорость оборотов зубчатого венца: 13rpm.
9. Эффективный ход цилиндра: 450мм.
10. Параметры главного электродвигателя: 7.5KW 1440rpm.
11. Электродвигатель солнечного колеса и зубчатого венца: 1.5KW 1400rpm.
12. Габаритный размер оборудования(Д*Ш*В): 1600мм×1250мм×2850мм.
13. Масса оборудования: около 3000 кг.
Ⅲ.Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего шлифовального круга: 0.06 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего шлифовального круга: 0.02 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.06мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.12 мм.
Ⅳ. Точность обработки
1. Параллельная плоскость после корректировки исправляющего колеса: 0.0035мм.
2. Параллельность обработанного изделия: 0.003мм/Φ100мм (для кремниевой пластины)
Ⅴ.Способность обработки
1. Несущая способность на единицу: 8 шт/Ф75 мм; 5 шт/Ф100 мм;
2. Несущая способность на целый круг: 48 шт/Φ75мм, 30 шт/Ф100 мм.