Ⅰ. Предназначение оборудования
Данный станок применяется для двухсторонних точных шлифования и обработки на кремниевой чип, кврацевый кристалл, керамические пластины и другие жесткие и хрупкие материалы.
Ⅱ. Главные технические параметры:
1. Размер шлифовального круга: φ1112мм×φ380мм×50мм
2. Параметры кассеты: метрический, M=2 Z=212; дюймовый, DP12 Z=200.
3. Количество кассеты: 5 шт.
4. Максимальный шлифовальный диаметр: φ350мм.
5. Минимальная шлифовальная толщина: 0.40мм/φ125мм.
6. Максимальная шлифовальная толщина: 30мм.
7. Скорость нижнего шлифовального круга: 0-50rpm.
8. Главный электродвигатель: 11kW AC380V 1450rpm (частотное регулирование).
9. Вспомогательный электродвигатель: 1.5kW AC380V 1400rpm
10. Источника газа: 0.5-0.6MPa.
11. Габаритный размер: 2200мм×1600мм×2700мм.
12. Масса оборудования: около 5600 кг.
Ⅲ. Точность главной машины:
1.Торцевое биение нижнего шлифовального круга: 0.06 мм
2. Плоскостность шлифовального круга: 0.025 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08 мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм.
Ⅳ. Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов)
1. Параллельная плоскость после исправления колеса: ≤0.004мм.
2. Параллельность обработанного изделия: ≤0.0035/φ125мм
Ⅴ.Способность обработки
1. Несущая способность на единицу: 17 шт/Ф75 мм; 8 шт/Ф100 мм, 5шт/Φ125мм;
2. Несущая способность на целый круг: 85 шт/Φ75мм, 40 шт/Ф100 мм; 25 шт/Ф125 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:
X61 1112B-1 Double-sided Lapping Machine (16B)
Application:
This machine is mainly used for accurate lapping of silicon wafers, quartz wafers, ceramic wafers, gallium arsenide wafers and other hard and fragile flat materials on both sides.
Main features:
1． Asynchronous Motor working with Frequency Converter gains soft start, soft stop, stable speed regulation and low impact.
2． Equipped with 2 motors. With wide speed regulation of sun gear. The equipment can meet the demand on lapping of different materials and different lapping technics.
3． Elevating sun gear and inner gear synchronously. It is easy to load or unload work-pieces and match carriers’ position of engagement.
4． The upper and lower lapping plates are driven with bevel gears. The machine runs smoothly.
5． PLC control. Closed-loop feedback control system makes sure the accurate pressure on the work-pieces. It is easy to set the accurate pressure. The machine operates easily and runs stably and reliably.
6． Equipped with Human-computer interface (PT) and PLC control. The machine can display the running status of the machine. Inputting running parameters through touch panel is allowed. Master operations are effected through primary buttons.
7． Take into consideration reliability, practicability, interchangeability, convenience of operation and maintenance.
Main specifications：
1． Dimensions of lapping plates (outer dia.× inner dia.× thickness): ф1112mm×ф380mm×50mm
2． Carrier specifications: M=2 Z=212 (Metric system)
DP12 Z=200 (British system)
3． Carrier quantity: 5
4． Diameter of work-piece (max.): ф350mm
5． Thickness of work-piece (min.): 0.40mm of ф125mm
6． Thickness of work-piece (max.): 30mm
7． Rotation speed of lower plate: 0 ~ 50rpm
8． Main motor: 11kW 380V 1450rpm, Frequency speed control
9． Second motor: 1.5kW AC380V 1400rpm
10． Slurry pump: 1/4HP 380V
11． Air source: 0.5 ~ 0.6 MPa
12． Machine dimensions: 2200mm×1600mm×2700mm
13． Machine weight: about 5600kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.06mm
2. Flatness of lapping plate: 0.025mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm
Processing accuracy (after conditioning) :
1. Parallelism of conditioning ring: ≤0.004mm
2. Parallelism of work-piece ≤0.0035 forф125mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 17 pieces of ф75mm or 8 pieces of ф100mm or 5 pieces of ф125mm
2. Total capacity: 85 pieces of ф75mm or 40 pieces of ф100mm or 25 pieces of ф125mm