Ⅰ. Предназначение данного оборудования
Данный станок в основном предназначен для двухстороннего шлифования с высокой точностью на кремниевый чип, кремниевый кристалл жесткого диска, оптический диск, плиту арсенида галлии, керамический чип, кварцевый кристалл и другие жесткие хрупкие материалы.
Ⅱ. Технические параметры
1. Размер шлифовального круга(мм):φ1118×φ386×60
2. Параметры кассеты:
Дюймовй：количество зуба Z＝200 DP＝12 α＝20°
Метрический：количество зуба Z＝142 M＝3 α＝20°
3. Количество кассеты: 5 шт
4. Максимальный шлифовальный диаметр: φ350 мм
Минимальная шлифовальная толщина: 0.30 мм.
5. Максимальная шлифовальная толщина: 50 мм.
6. Идеальный шлифовальный диаметр: 125 мм /25 шт.
7. Скорость оборотов нижнего шлифовального круга: 0～60rpm
8. Электродвигатель верхнего круга (выбрать SEW): CV132M4/TF/EV1S
48Nm /S1 1700rpm 59Hz 335V
9. Электродвигатель нижнего круга (выбрать SEW): CV160L4/TF/EV1S
89.00 Nm/S1 1700 rpm 58Hz 330V
10. Электродвигатель зубчатого венца (выбрать SEW): CFV100L4/TF/ES1S
26.00 Nm /S1 1700 rpm 60Hz 315V
11. Элекродвигатель солнечного зубчатого колеса (выбрать SEW): CFT90L4/TF/ES1S
10Nm /S1 1700rpm 59.7 Hz 345V
12. Источник газа: 0.5—0.6Mpa
13. Габаритный размер (Д*Ш*В): 2300мм× 1500мм × 3100мм
14. Масса: около 8000 кг.
Ⅲ. Показатель точности
Точность главной машины
1.Торцевое биение нижнего шлифовального круга: 0.04 мм
2. Плоскостность верхнего и нижнего шлифовального круга: 0.015 мм.
3. Радиальное биение солнечного колеса: 0.08мм
4. Радиальное биение зубчатого венца: 0.15мм.
Ⅳ.Точность обработки(после корректировки четырёх исправляющих колесов )
1. Однородность: 0.008 мм;
2. Ровность: 0.004 мм;
3. Параллельность: 0.005 мм.

В нижеследующем описание станка на английском языке:

X61 1112K-1 Precision Lapping Machine

Application:
The machine is mainly used for lapping silicon wafers, hard-disk substrate, optical-disk motherboard, ceramics and other hard, fragile materials on both sides with high accuracy.
Main features:
1. Equipped with several motors. Wider speed regulation.
2. Equipped with human-computer and PLC control, with an opening operating interface. There are four steps of password protection, that is administrator, maintainer, technicist and operator, which is convenient for different people to use. It could be connected to the ethernet, do the remote debugging, communicate with other machine and other advanced functions(scalable). The control software and operating interface could be made according to the users’ requirement.
3. Introduce modular design concept. The machine can be equipped with two motors, three motors or four motors, under the situation of keeping the basic structure of the main driving unchanged. The motor can be either ordinary asynchronous motor or Alternating current asynchronous servomotor(SEW). The sub-reducing-casing(sun gear and ring gear) could be from China or imported.
4. Elevate the sun gear and inner gear synchronously in the big stroke(80mm).
5. Introduce pressure feedback control system. Pressure accuracy: 2kgs
6. Adaptability:
Preprogram 20 sets of technics. Every set has 20 steps.
Slurry pump and water pump parameters can be programmed in each step.
Rotation speed and direction of each motor can be programmed respectively.
Accelerating time of each motor can be programmed.
Target pressure in each step can be programmed.
Pressuring slope in each step can be programmed.
Two custom mode can be programmed in each step.
7. Movable feet (optional). It is easy to move the machine.
Main Specifications:
1. Dimensions of lapping plates: ф1128mm×ф380mm×50mm (standard configuration, customize)
Dimensions of polishing plates: ф1156mm×ф368mm×50mm (standard configuration, customize)
2. Carrier specifications: Metric system Z=142 M=3 ɑ=20º
British system Z＝200 DP＝12 α＝20°
3. Carrier quantity: 5
4. Diameter of work-pieces (max.): ф350mm
Thickness of work-pieces (min.): 0.30mm
5. Rotation speed of the lower plate: 0~60rpm
6. The upper plate driving motor (optional): 7.5kW 4 poles AC380V
7. The lower plate driving motor: 15kW 4 poles AC380V
8. Sun gear driving motor: 1.5kW 4 poles AC380V
9. Inner gear driving motor: 4kW 4 poles AC380V
10. Air source: 0.5~0.6Mpa
11. Machine dimensions (L×W×H): 2380mm×1580mm×2995mm
12. Machine weight: about 8000Kg
Machine accuracy:
1. End face run-out of lower plate: 0.04mm
2. Flatness of lapping plates: 0.015mm
3. Diameter run-out of sun gear: 0.08mm
4. Diameter run-out of inner gear: 0.15mm
Processing accuracy (after conditioning) :
1. Consistency of work-pieces: 0.008mm
2. Flatness of work-pieces: 0.004mm
2. Parallelism of work-pieces 0.005mm
Machine Capacity:
1. One-carrier capacity: 17 pieces for ф75mm or 8 pieces for ф100mm or 5 pieces forф125mm
2. Total capacity: 85 pieces for ф75mm or 40 pieces for ф100mm or 25 pieces forф125mm